為了保證潔凈室（廠房）內(nèi)的塵粒控制在潔凈室（廠房）潔凈等級所要求的塵粒數(shù)以內(nèi)，一般在凈化空調(diào)系統(tǒng)中使用三級或四級空氣過濾器，來擋截進入潔凈室（廠房）氣流中的塵埃粒子。

 凈化空調(diào)系統(tǒng)中所使用的空氣過濾器，按其空氣過濾的效率分為四種，即初效過濾器、中效不定期濾器、亞高效過濾器和高效過濾器（有些房間的潔凈度記于100級，如10級潔凈室，其凈化空調(diào)房間還要使用超高效過濾器）。

初效空氣過濾器的濾塵對象主要是大于10um塵粒，其計數(shù)效率（對于0.3um的塵粒）小于20%,空氣阻力小于30Pa。

中效過濾器的濾除對象是1~10um的塵塵粒，其計數(shù)效率（對于0.3um粒徑的塵粒）為20%~90%，空氣阻力小于100Pa。

亞高效空氣過濾器的濾除對象主要是小于5um的塵粒，其計數(shù)效率（對于0.3um粒徑的塵粒）為90%~99.9%，其空氣阻力小于150pa。

高效空氣過濾器具濾除對象主要是小于1.0um的塵粒，其計數(shù)效率（對于0.3um粒徑的塵粒）大于99.97%，空氣阻力小于250Pa。

凈化空調(diào)系統(tǒng)中，所使用的空氣過濾器是在系統(tǒng)設(shè)計時，按照各級過濾器的額定風量，空氣阻力和過濾效率進行組合選型的。同時初效過濾器和中效過濾是根據(jù)過濾的風量和過濾的濾料的濾速來確定過濾器的尺寸。初效空氣過濾器空氣通過濾料的濾速為0.4~1.2m/s，中效空氣過濾器空氣通過濾料的濾速為0.2~0.4m/s，高效空氣過濾器空氣通過濾料的濾速為0.01~0.03m/s。

在空氣過濾器的組合方面，以初、中、高三級空氣過濾器相組合的方式，一般用于10萬級到100萬級的潔凈室，對于1萬級到100級的潔凈室，其凈化空調(diào)系統(tǒng)也有使用初、中、中、高四級空氣過濾器的組合方式，或使用初、中、亞高效、高效四級過濾器的組合方式。在四級空氣過濾器的組合中，增加的第三級中效或亞高效空氣過濾器的目的是為了提高凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風潔凈度，延長末端空氣過濾器的使用壽命，減少其更換的次數(shù)。